高純氣體使用的管道必須具有的特性分析
1. 氣體浸透性。對于運送ppm級及更高純度要求的氣體，從氣體浸透視點有必要選用不銹鋼管或許鋼管。如果不恰當地選用了不符合要求的管道資料，那么，不管采取什么凈化手法，都將是無濟于事的。
2. 出氣速率。資料冶煉過程形成的管道資料晶間或許晶格內部存在著某些雜質，如氮、碳氫化合物等，在高純氣體運送過程中，這些雜質會緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。
3. 吸附性。由于水分等雜質是極性分子，吸附性很強。橡膠、塑料或一些外表粗糙的資料極易吸附水分等雜質，銅材對水吸附性極強，運用這些資料運送高純氣體易被污染。除了運送ppm級以下的氧氣會運用紫銅管外，高純氣體都不選用銅管和塑料管。氣體會接觸到的墊片、填料也不得選用橡膠、塑料資料(包括聚四氟乙烯)。
4. 外表粗糙度和耐磨性。為了確保運送的氣體純凈度，要求管道資料內外表有一個極高的亮光度，這樣能夠防止污染粒子及濕氣在管壁滯留。管材比較亮光而且耐磨，能夠在氣流高速沖刷下發生金屬粒子較少，不銹鋼比銅管發生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。
5. 抗腐蝕性。微電子生產中經常運用一些腐蝕性很強的氣體。這時有必要選用耐腐蝕的管材否則管道會被腐蝕輕則外表發生銹斑重則管道大面積脫落、穿孔不但污染氣體還會發生安全事故。
2. 出氣速率。資料冶煉過程形成的管道資料晶間或許晶格內部存在著某些雜質，如氮、碳氫化合物等，在高純氣體運送過程中，這些雜質會緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。
3. 吸附性。由于水分等雜質是極性分子，吸附性很強。橡膠、塑料或一些外表粗糙的資料極易吸附水分等雜質，銅材對水吸附性極強，運用這些資料運送高純氣體易被污染。除了運送ppm級以下的氧氣會運用紫銅管外，高純氣體都不選用銅管和塑料管。氣體會接觸到的墊片、填料也不得選用橡膠、塑料資料(包括聚四氟乙烯)。
4. 外表粗糙度和耐磨性。為了確保運送的氣體純凈度，要求管道資料內外表有一個極高的亮光度，這樣能夠防止污染粒子及濕氣在管壁滯留。管材比較亮光而且耐磨，能夠在氣流高速沖刷下發生金屬粒子較少，不銹鋼比銅管發生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。
5. 抗腐蝕性。微電子生產中經常運用一些腐蝕性很強的氣體。這時有必要選用耐腐蝕的管材否則管道會被腐蝕輕則外表發生銹斑重則管道大面積脫落、穿孔不但污染氣體還會發生安全事故。
